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陈威
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21
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
李伟
中国电子科技集团公司
王伟
中国电子科技集团公司
潘峰
中国电子科技集团公司第四十五研...
广明安
中国电子科技集团公司第四十五研...
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王伟
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅片 化学机械抛光 晶圆 末端执行器 抛光
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李伟
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:晶圆 硅片 化学机械抛光 交叉污染 末端执行器
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广明安
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:键合 键合机 超声键合 全自动 夹持
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潘峰
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:键合 引线键合机 传动装置 传动介质 操作力
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