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韩奇峰
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院合肥物质科学研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王玉琦
中国科学院合肥物质科学研究院
尹志军
中国科学院合肥物质科学研究院
曹先存
中国科学院合肥物质科学研究院
邱凯
中国科学院合肥物质科学研究院
段铖宏
中国科学院合肥物质科学研究院
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曹先存
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:磁控溅射 超高真空系统 超高真空 阳极 法兰
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邱凯
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 磁控溅射 超高真空系统 超高真空 分子束外延法
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王玉琦
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 超高真空 分子束外延法 反应离子刻蚀 硅衬底
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段铖宏
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:磁控溅射 超高真空 法兰 冷却水管 屏蔽罩
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供职机构
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尹志军
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 磁控溅射 超高真空系统 超高真空 分子束外延法
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研究领域
李新化
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:氮化镓 超高真空 磁控溅射 超高真空系统 分子束外延法
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研究领域
姬长建
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:磁控溅射 磁传感器 超高真空 氮化镓薄膜 氮化镓
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所获资助
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