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陈颖

作品数：13 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 5个自动化与计算...
  • 4个电子电信
  • 4个文化科学
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  • 3个理学
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生
  • 1个一般工业技术

主题

  • 5个掩模
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  • 4个电路
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  • 4个多层膜
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机构

  • 5个中国科学院微...
  • 1个北京理工大学

资助

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  • 4个国家科技重大...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个上海市自然科...
  • 2个国家中长期科...

传媒

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  • 1个中国光学

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
韦亚一
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
粟雅娟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段英丽
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掩模版 掩模 分出 光学模型 可制造性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张利斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 光源 线条 套刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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